根据用户用气需要，将氩气与氢气混合气进入装有钯催化剂的除氧器中。这样氩气等气体中含有的微量氧与氢气在钯催化剂的作用下发生反应，即O2+2H2→2H2O。再经冷却除水后进入装有分子筛的干燥器进行干燥吸附处理。从而得到高纯使用气体。

该装置主要由除氧器、冷却器、冷干机、干燥器、各种控制系统等组成。