氢气纯化是为需要高纯氢气的用户而设计的装置。该装置是将加热后的氢进入装有催化剂的除氧器中。这样氢气中含有的微量氧与氢气在催化剂的作用下发生反应，即O2+2H2→2H2O。再经冷却除水、干燥器吸附，进行干燥吸附处理，从而得到高纯氢气。

该装置主要由除氧器、冷却器、冷干机、干燥器、各种控制系统等组成。